IWAKI 易威奇气动波纹管泵（FA-40VEW）

IWAKI 易威奇气动波纹管泵（FA-40VEW）

IWAKI 易威奇气动波纹管泵（FA-40VEW）

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IWAKI 易威奇气动波纹管泵（FA-40VEW）

IWAKI 易威奇气动波纹管泵（FA-40VEW）

气动波纹管泵 FA系列 用于晶圆清洁，气动波纹管泵。 我们采用小流量模型和FA - 40VEW型垂直型大流量模型对FA - 2型水平流型进行了标准化。 FA-2型适用于喷涂单晶圆加工，FA-40VEW型适用于清洗200/300 mm晶圆。

特点

1.我们采用小流量模型和FA - 40VEW型垂直型大流量模型对FA - 2型水平流型进行了标准化。 FA-2型适用于喷涂单晶圆加工，FA-40VEW型适用于清洗200/300 mm晶圆。

2.FA - 40VEW型采用厚波纹管。 它是一种长寿命设计，具有出色的耐压性，可承受长期连续运行。

3.氟树脂用于所有润湿部件。 它是一种无污染的设计，不使用橡胶或金属，例如在泵的外圆周上涂覆氟树脂涂层。 此外，由于FF-H系列的主体和波纹管是完全焊接的，因此热循环不会有液体泄漏。

4.通过连接到专用控制器，可以轻松控制和管理排放量。

型 号	FA-2E-1	FA-40VEW
*大排放量 L/min	2	40
供气压力范围 MPa	0.2～0.4	0.1～0.4
液体温度范围 ℃	5～100
*大耗气量 NL/min	50	200
泵冲程数 spm	Max.150	Max.80
泵连接端口直径	Rc1/8	Rc1
空气连接口直径	Rc1/4	Rc3/8
环境温度℃	0～40
驱动方式	接近开关方法