容器组件
IWAKI 易威奇气动波纹管泵（FA-2E-1）
简单介绍
IWAKI 易威奇气动波纹管泵（FA-2E-1）
IWAKI 易威奇气动波纹管泵（FA-2E-1）
IWAKI 易威奇气动波纹管泵（FA-2E-1）
的详细介绍IWAKI 易威奇气动波纹管泵（FA-2E-1）
IWAKI 易威奇气动波纹管泵（FA-2E-1）
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气动波纹管泵 FA系列 用于晶圆清洁，气动波纹管泵。 我们采用小流量模型和FA - 40VEW型垂直型大流量模型对FA - 2型水平流型进行了标准化。 FA-2型适用于喷涂单晶圆加工，FA-40VEW型适用于清洗200/300 mm晶圆。
用于晶圆清洁
气动波纹管泵
特点
两种中温规格
我们采用小流量模型和FA - 40VEW型垂直型大流量模型对FA - 2型水平流型进行了标准化。 FA-2型适用于喷涂单晶圆加工，FA-40VEW型适用于清洗200/300 mm晶圆。
厚厚的波纹管
FA - 40VEW型采用厚波纹管。 它是一种长寿命设计，具有出色的耐压性，可承受长期连续运行。
传感器驱动方式
氟树脂用于所有润湿部件。 它是一种无污染的设计，不使用橡胶或金属，例如在泵的外圆周上涂覆氟树脂涂层。 此外，由于FF-H系列的主体和波纹管是完全焊接的，因此热循环不会有液体泄漏。
简单操作
通过连接到专用控制器，可以轻松控制和管理排放量。
