容器组件
IWAKI 易威奇 FLP-75W气动低脉动波纹管泵
- 产品名称：IWAKI 易威奇 FLP-75W气动低脉动波纹管泵
- 产品型号：FLP-75W型
- 产品厂商：IWAKI 易威奇
- 产品文档：
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简单介绍
IWAKI 易威奇 FLP-75W气动低脉动波纹管泵
IWAKI 易威奇 FLP-75W气动低脉动波纹管泵
IWAKI 易威奇 FLP-75W气动低脉动波纹管泵
的详细介绍IWAKI 易威奇 FLP-75W气动低脉动波纹管泵
IWAKI 易威奇 FLP-75W气动低脉动波纹管泵
IWAKI 易威奇 FLP-75W气动低脉动波纹管泵
IWAKI 易威奇 FLP-75W气动低脉动波纹管泵
IWAKI 易威奇 FLP-75W气动低脉动波纹管泵
气动低脉动波纹管泵 FLP系列 不需要阻尼器，实现低脉动，有助于降低总成本 它通过适用于单晶圆工艺的出色负载跟随性实现稳定工作
产品特点
低脉动：根据激光位移传感器和接近开关的信号，控制器始终跟踪波纹管的位置。通过控制器判断左右波纹管的*合适相位覆盖量，并通过切换电磁阀来减小脉动。
优异的负载跟随性，适用于单晶圆工艺：通过执行相位控制改善了负载波动的可跟随性。特别是在频繁发生压力波动的生产线中，例如单张纸加工，其高负荷跟随能力实现了排出量和排出压力的稳定操作。
无需阻尼器，节省空间：由于不需要安装阻尼器，因此实现了装置的节省空间。管道工作也很容易，可以减少昂贵的管道材料，如氟树脂配件，有助于更小更轻的设备。
**设计：波纹管焊接结构可防止液体泄漏，即使波纹管破裂，也会采用检测漏液的泄漏传感器，因此您可以放心使用。
产品规格
| *大放电量L/min | 92 | ||
| 工作液温度℃ | 5 〜 100 | 101 〜 150 | 151 〜 180 |
| *大气压范围MPa | 0.1 〜 0.5 | 0.1 〜 0.4 | 0.1 〜 0.3 |
| 自吸能力注2m | 1 | ||
| *大液体输送粘度mPa•s | 50 | ||
| 环境工作温度/湿度 ℃ /%RH | 0 〜 60℃／ 30 〜 60%RH（无冷凝） | ||
| 存储环境温度/湿度 ℃ /%RH | -10 〜 60℃／ 20 〜 70%RH（无冷凝） | ||
| 安装环境 | 室内（但尘土较少的环境） | ||
| 使用条款 | 间歇性操作 | ||
| 使用方法 | 驱动空气外部强制切换系统 | ||
| 吸入侧连接管道端口直径 | φ 31.8× φ 28.0mm（PFA） | ||
| 排出侧连接管道端口直径 | φ 25.4× φ 22.2mm（PFA） | ||
| 供气连接口直径 | Rc1/2 | ||
| 重量kg |
42 |
||