容器组件
日本KASHIYAMA柏山真空泵SDL系列
- 产品名称：日本KASHIYAMA柏山真空泵SDL系列
- 产品型号：SDL20E50
- 产品厂商：日本KASHIYAMA柏山真空泵
- 产品文档：
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简单介绍
日本KASHIYAMA柏山真空泵SDL系列
KASHIYAMA真空泵SDL Series系列
可用于大尺寸晶圆和FPD。
通过组合提供大容量。
大于150kl/min也可按需提供。
更短的周期时间。
大容量atm左右，可实现高压泵送。
适用于大型L/L箱。
溶剂抽空泵也排好了。
SDL12E50/SDL20E50/SDL36E60/SDL3600
日本KASHIYAMA柏山真空泵SDL系列
的详细介绍
日本KASHIYAMA柏山真空泵SDL系列
SDL12E50/SDL20E50/SDL36E60/SDL3600
*1. N2未使用**时的值。
*排气性能曲线可能会根据组合而变化。
*排气性能曲线可能会根据组合而变化。
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