容器组件

日本KASHIYAMA柏山真空泵SDL系列

  • 产品名称：日本KASHIYAMA柏山真空泵SDL系列
  • 产品型号：SDL3600
  • 产品厂商：日本KASHIYAMA柏山真空泵
  • 产品文档：
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简单介绍
日本KASHIYAMA柏山真空泵SDL系列 KASHIYAMA真空泵SDL Series系列 可用于大尺寸晶圆和FPD。 通过组合提供大容量。 大于150kl/min也可按需提供。 更短的周期时间。 大容量atm左右，可实现高压泵送。 适用于大型L/L箱。 溶剂抽空泵也排好了。 SDL12E50/SDL20E50/SDL36E60/SDL3600

日本KASHIYAMA柏山真空泵SDL系列

的详细介绍
日本KASHIYAMA柏山真空泵SDL系列

SDL12E50/SDL20E50/SDL36E60/SDL3600





*1. N2未使用**时的值。




*排气性能曲线可能会根据组合而变化。

*排气性能曲线可能会根据组合而变化。

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MU-X系列

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MU100X，MU180X，MU300X，MU600X，MU1200X，MU20M18X

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NeoDry系列

便携式和风冷式干泵

无需更换密封垫，不会损坏性能，无颗粒！没有油烟，没有污染，3年无需更换泵

NeoDry7E，NeoDry15E，NeoDry30E，NeoDry36E，NeoDry60E，NeoDry300E



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