容器组件
HORIBA堀场 高响应压力非敏感流量器
- 产品名称：HORIBA堀场 高响应压力非敏感流量器
- 产品型号：D727MG
- 产品厂商：HORIBA堀场制作所
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简单介绍
HORIBA堀场制作所 高响应压力非敏感质量流量器D727MG
HORIBA堀场 高响应压力非敏感流量器
的详细介绍HORIBA堀场制作所 高响应压力非敏感质量流量器D727MG
HORIBA堀场制作所 高响应压力非敏感质量流量器D727MG
HORIBA堀场制作所 高响应压力非敏感质量流量器D727MG
更多详情咨询：13024103468 刘经理
高响应压力非敏感质量流量器
关键的半导体制造过程不断要求**的气体流量控制设备，以实现未来的**，以及**的存储和逻辑设备的实验室到工厂的过渡。HORIBA公司提出了新的基于压力的MFC D700MG, D500MG的上部兼容型号，以支持客户的挑战。
概要
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工具上气体和全尺寸配置更改 *仅 EtherCAT
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为流程优化提供灵活性
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100 ms 响应速度和mfc到mfc的偏差控制
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提供高生产力和更大的过程性能
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小流量 MRMG 功能（Bin101 - Bin105）
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为需要小流量的工艺提供灵活性
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PFA 喷嘴具有更好的阀门关闭和耐腐蚀性能
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稳定性性和较小的颗粒风险，减少停机时间和优化产量
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状态监控功能
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为更智能的故障预测提供更多的内部数据
