容器组件
HORIBA 多量程/多气体数字流量控制器
- 产品名称：HORIBA 多量程/多气体数字流量控制器
- 产品型号：SEC-Z500X
- 产品厂商：HORIBA堀场制作所
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简单介绍
HORIBA堀场制作所 多量程/多气体数字质量流量控制器SEC-Z500X
HORIBA 多量程/多气体数字流量控制器
的详细介绍HORIBA堀场制作所 多量程/多气体数字质量流量控制器SEC-Z500X
HORIBA堀场制作所 多量程/多气体数字质量流量控制器SEC-Z500X
HORIBA堀场制作所 多量程/多气体数字质量流量控制器SEC-Z500X
更多详情咨询：13024103468 刘经理
这是 HORIBA *畅销的数字式质量流量控制器。它具有多量程/多气体功能，用户能够快速方便地现场更改气体类型或满量程流量。
该质量流量控制器具有高精度（+/- 1.0% 设定点）、压电阀、高速响应和全金属特性，可提高制程良率，简化零件管理。支持数字/模拟、DeviceNet™ 和 EtherCAT® 通信模式。
概要
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高精度 ±1.0% 设定点
该质量流量控制器的线性度由多项式近似曲线补偿，并实现在所有流量控制范围内的高精度。为提高实际气体精度，不同工艺气体的标定数据由 HORIBA STEC 公司的标准气体测量系统测量。 -
高速响应
装配“可变 PID 系统”，可在任意两个设定点之间实现 1 秒响应。可变 PID 根据流量点设置不断变化。在满量程流量和气体发生变化时优化 PID 系数。 -
多气体/多量程解决方案
配置软件可以快速方便地更改规格。一个重要特征是无需从气体控制面板或管道上拆除质量流量控制器，即可进行更改。减少了所需的备用质量流量控制器的数量，节省时间和成本。
SEC-Z500X 质量流量控制器适用于各种应用以及半导体制造。阅读我们的案例分析，了解 SEC-Z500X