容器组件
HORIBA堀场制作所 排气压力控制器
- 产品名称:HORIBA堀场制作所 排气压力控制器
- 产品型号:EC-5104
- 产品厂商:HORIBA堀场制作所
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简单介绍
HORIBA堀场制作所 排气压力控制器EC-5104
HORIBA堀场制作所 排气压力控制器
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HORIBA堀场制作所 排气压力控制器EC-5104
HORIBA堀场制作所 排气压力控制器EC-5104
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EC-5000 系列排气压力控制器可将处理室的压力值维持在客户设定的范围。高分辨率步进电机和蝶阀设计确保对任何压力变化做出快速、灵敏的响应。
概要
优点:
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适用于高真空环境:不锈钢机身
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抗腐蚀:PTFE 机身可选
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RoHS 标准
当排气流量被调整到适合水平:
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抗蚀剂以薄膜形式均匀分布
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防止烟雾的二次沉积
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防止危险蒸气扩散
与流量传感器控制相比,由抗蚀剂和其他污染物累积引起的灵敏度变化较小,同时消除了湍流和其他噪声的影响,确保控制精准、稳定、迅速。
