容器组件
HORIBA堀场 性能压力质量流量计
- 产品名称：HORIBA堀场 性能压力质量流量计
- 产品型号：D717T
- 产品厂商：HORIBA堀场制作所
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简单介绍
HORIBA堀场制作所 性能压力不敏感质量流量计D717T
HORIBA堀场 性能压力质量流量计
的详细介绍HORIBA堀场制作所 性能压力不敏感质量流量计D717T
HORIBA堀场制作所 性能压力不敏感质量流量计D717T
HORIBA堀场制作所 性能压力不敏感质量流量计D717T
更多详情咨询：13024103468 刘经理
D700T是性能*佳的压力不敏感质量流量模块，专为关键的半导体制造工艺而设计。D700T采用HORIBA CRITERION基于压力的流量测量和控制技术，提供行业**的可重复和**的性能。此外，D700T的独特之处在于采用**的先进流量控制算法和双阀结构，使客户的气体输送系统能够解决多种挑战。
概要
≤100msec全线快速稳定时间（可设为“设置”、“升压”、“降压”）
进出口压力不敏感性能
先进的故障检测，诊断压力传感器移位，阀座泄漏和流量精度变化
在0.15%标准价格范围内可重复性
*佳精度规格在0.45% S.P.以内*（标准：0.8% S.P.）
更宽的工作温度范围（15-60°C）
*注：D700T为单气体配置。向堀场询问规格。
配置
