容器组件
HORIBA堀场 微流量压力质量流量计
- 产品名称：HORIBA堀场 微流量压力质量流量计
- 产品型号：D717uF
- 产品厂商：HORIBA堀场制作所
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简单介绍
HORIBA堀场 微流量压力质量流量计D717uF
HORIBA堀场 微流量压力质量流量计
的详细介绍HORIBA堀场 微流量压力质量流量计D717uF
HORIBA堀场 微流量压力质量流量计D717uF
HORIBA堀场 微流量压力质量流量计D717uF
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D700uF（Micro Flow）专为≤5SCCM流量应用而设计。
在高纵横比工艺中，≤5SCCM的流量控制是非常关键的。
专门的组件和新开发的内部低流量标准允许高精度流量控制低至0.025SCCM。
概要
低至0.025SCCM流量控制能力
精密调气控制，提高工艺可调性
≤100ms升压响应和mfc到mfc偏差控制
提供高生产率和更高的过程性能
内部流量计量
所有制造产品的可靠性能
状态监控功能
为更智能的故障预测提供更多内部数据
PFA喷嘴具有更好的阀门关闭性和耐腐蚀性
具有较小颗粒风险的鲁棒性，可减少停机时间并优化产量
