容器组件
HORIBA堀场 紧凑型质量流量控制器
- 产品名称:HORIBA堀场 紧凑型质量流量控制器
- 产品型号:DZ-114S
- 产品厂商:HORIBA堀场制作所
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简单介绍
HORIBA堀场制作所 紧凑型质量流量控制器DZ-114S
HORIBA堀场 紧凑型质量流量控制器
的详细介绍HORIBA堀场制作所 紧凑型质量流量控制器DZ-114S
HORIBA堀场制作所 紧凑型质量流量控制器DZ-114S
HORIBA堀场制作所 紧凑型质量流量控制器DZ-114S
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DZ-100 继承了 HORIBA STEC 公司 MFC D500 所采用的相同标准技术 — 粘性层流范围压差检测系统。该技术实现对各种气体的质量流量进行高精度控制。与 D500 一样,用户可配置 DZ-100,支持多量程和多气体应用。MFC 设计紧凑,减少了内部气流通道占用的内部体积,同时采用优化控制算法改善了响应特性。该设备使用处理能力较高的紧凑型中央处理器(CPU)。压电驱动电路和控制中央处理器安装在 MFC 模块中,而电源组件布置在单独的小控制箱中。连接专用微型连接器,*多可以控制四个 MFC 。
概要
• 快速响应(≦0.4 秒)
• 紧凑型(宽:10mm,高:99mm)
• 供给工作压力范围宽