HORIBA堀场 压差式质量流量控制器

HORIBA堀场制作所  压差式质量流量控制器D522MG

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更多详情咨询：13024103468 刘经理

这款技术先进的压差式质量流量控制器具备压差检测功能和压电驱动阀。

高性能 CRITERION D500 适用于一系列先进的半导体制程，具有压力补偿，多量程/多气体/多压力，G-LIFE（集成限流器方程的气体定律校验）自诊断功能，高精度、快速响应、宽量程、全金属等特点。

概要

• 压力不敏感性能
  高性能压力补偿新功能简化了供气系统

• 多量程、多气体、多压力解决方案
  新功能允许用户改变气体类型、满量程流量和供压范围

• G-LIFE（集成限流器方程的气体定律校验）自诊断功能
  先进的工艺健康监控功能允许操作人员自行进行测试，即使提高通过量，通常也能在三秒或更短的时间内完成测试。

• 高精度
  先进的三维调整功能提高了工艺气的流量精度

• 快速响应
  响应时间：< 0.8 秒
  可实现**、稳定的流量控制

• 动态范围
  控制范围广：0.2% 满量程 至 100% 满量程

配置