容器组件
HORIBA堀场 腔室清洗监测的气体监测仪
- 产品名称：HORIBA堀场 腔室清洗监测的气体监测仪
- 产品型号：IR-200
- 产品厂商：HORIBA堀场制作所
- 产品文档：
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简单介绍
HORIBA堀场制作所 腔室清洗监测的气体监测仪IR-200
HORIBA堀场 腔室清洗监测的气体监测仪
的详细介绍HORIBA堀场制作所 腔室清洗监测的气体监测仪IR-200
HORIBA堀场制作所 腔室清洗监测的气体监测仪IR-200
HORIBA堀场制作所 腔室清洗监测的气体监测仪IR-200
更多详情咨询：13024103468 刘经理
IR-200 实时监测四氟化硅（SiF4）气体浓度，并根据 SiF4 气体浓度确定清洗终点。
概要
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监测高达 5000 ppm 的 SiF4 浓度
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紧凑设计
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可安装至排气管路
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除 SiF4 外，该气体监测仪还可用于测量 CIF3 和其他气体。
配置
