HORIBA堀场 紧凑型工艺气体监测仪

HORIBA堀场制作所 紧凑型工艺气体监测仪MICROPOLE

HORIBA堀场制作所 紧凑型工艺气体监测仪MICROPOLE

HORIBA堀场制作所 紧凑型工艺气体监测仪MICROPOLE

更多详情咨询：13024103468 刘经理

• 轻型紧凑尺寸
  尺寸仅为传统残余气体分析仪的 1/20，易于集成到任何系统中

• 高性能
  9 个四极杆的微型阵列体积仅为传统四极杆体积的一小部分，可提供出色的灵敏度

• 高压操作
  可在高达 0.9Pa（7mTorr，9×10-3mbar）的压力下使用，从而减少或消除了许多应用中昂贵的真空泵

• 校准中可互换的传感头
  传感头在装运前经过预调和预校准，允许用户在现场进行传感器更改，而无需微调或使用专业技术

• 网络传感器
  使用 RS-485 可让一台电脑监控高达 8 个传感器。这些系统也可以通过以太网进行远程监控

• 用户友好软件
  Micropole Scanner™ 软件允许用户以各种模式监测气体分压，例如趋势图、模拟图、泄漏模式、条形图、3D 图等

• 监测仪控制器
  选配的监测仪控制器可用于直接安装在光谱发生器上的真空室，用户无需电脑即可监控真空室

测量原理

体监测仪由离子源、质谱仪和测量部分组成。当残余气体与高温灯丝释放的热电子碰撞时，残余气体被电离，由此产生的离子加速并汇聚到质谱仪上。在质谱仪中，直流和交流电压被施加到四个圆柱形电极（四极杆）上，通过质量来分离离子。分离的离子被法拉第杯检测为电流。离子电流与残余气体的质量（分压）成正比。

MICROPOLETM 分析仪

MICROPOLETM 系统的特点之处就在于其采用 MICROPOLETM 分析仪（MPA）；九个四极杆的阵列充分利用超精密光学蚀刻加工技术和玻璃/金属接合技术。MPA 的研发成功制造了残余气体分析仪，同时提供与传统大型质谱仪相同或更好的灵敏度。该分析仪是一个插件。它配有一个已针对分压进行校准的传感器单元，并提供总压和分压测量。