容器组件

HORIBA堀场制作所 电容压力计

  • 产品名称：HORIBA堀场制作所 电容压力计
  • 产品型号：VG-200
  • 产品厂商：HORIBA堀场制作所
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HORIBA堀场制作所 电容压力计VG-200

HORIBA堀场制作所 电容压力计

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HORIBA堀场制作所 电容压力计VG-200

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HORIBA堀场制作所 电容压力计VG-200

更多详情咨询：13024103468 刘经理


VG 系列电容式压力计尺寸紧凑，采用全金属设计，可选配自动温度调节功能。

概要

  • 紧凑型自加热设计

  • 电极结构带来高性能和高稳定性

  • 镍合金隔膜具有良好的耐腐蚀性

  • 设定点输出（2 点）

  • 警报输出

  • 通过专用软件调整量程

  • 一键归零

  • 电源要求 +/-15V 直流电或 24V 直流电

  • 符合 CE 认证标准和 RoHS 标准

 

技术论文

电容薄膜真空计研发  (1.3MB)

摘要
"在用于制造发光二极管、半导体、平板显示器和太阳能电池的沉积制程或蚀刻制程中使用了各种气体，而制程压力对产品质量影响巨大，因此需要具备良好耐腐蚀性、无气体依赖性和高精度的真空计。为满足这些要求，HORIBA STEC 研发了电容薄膜真空计“VG-200 系列”，性能评估结果显示其具备出色的重现性和长期稳定性。本文将描述下 VG-200 系列产品的特性和性能评估结果。"

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