容器组件
HORIBA堀场制作所 双通道高精度HF浓度计
- 产品名称:HORIBA堀场制作所 双通道高精度HF浓度计
- 产品型号:HF-SP-CU
- 产品厂商:HORIBA堀场制作所
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简单介绍
HORIBA堀场制作所 双通道高精度 HF 浓度计HF-SP-CU
HORIBA堀场制作所 双通道高精度HF浓度计
的详细介绍HORIBA堀场制作所 双通道高精度 HF 浓度计HF-SP-CU
HORIBA堀场制作所 双通道高精度 HF 浓度计HF-SP-CU
HORIBA堀场制作所 双通道高精度 HF 浓度计HF-SP-CU
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高精度、高性能的 HF 浓度计支持 +/- 2.0 ppm(*高精度)微制程管理、高速采样和输出、双通道传感器和传感器内压力校正功能。
适用于半导体精细制程控制。
概要
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高精度:+/- 2.0 ppm(*高精度)
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高速采样和输出
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双通道传感器实现了对供料槽和腔体的测量
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传感器内压力校正功能