容器组件
真空泵
- 产品名称：真空泵
- 产品型号： MU系列
- 产品厂商：日本樫山kashiyama
- 产品文档：
你添加了1件商品 查看购物车
简单介绍
真空泵
的详细介绍
日本樫山kashiyama 真空泵 MU系列 电/微 详询 赵13062644508
无油洁净：采用无油运转设计，通过精密啮合转子实现气体压缩，全程无润滑油，避免油蒸气污染，可确保工艺腔体洁净无残留，适合敏感工艺如晶圆加工。
抽气性能优越：抽速范围广，从较小抽速到较大抽速的型号都有，如 MU1200XE *大抽速可达 20,000L/min。极限压力低，可达 0.1Pa 甚至更低。能快速有效地抽取气体，满足不同应用场景的真空需求，可在短时间内将真空腔室抽到所需的真空度。
节能环保：配备低功耗电机，运行能效比优于同类产品，降低了能耗与运行成本。同时采用变频驱动（VFD）调节转速，可根据实际需求调整抽气速度，进一步节能，能耗较油封泵可降低 30%-50%。
结构紧凑：尺寸相对较小，如 MU1200XE 尺寸为 625×275×580mm，重量约 165kg，占地面积小，便于安装在空间有限的设备中，适合设备集成和改造项目，可灵活安装在各种生产线上，不占用过多空间。
维护便捷：采用模块化结构，检修流程简单，无需复杂的拆卸和组装过程，可降低维护成本和停机时间。维护人员可快速定位和更换故障模块，减少设备停机维修时间，提高设备利用率。
运行稳定：摩擦部件少，可承受连续运转，不易出现故障。且噪音低、振动小，连续排气无脉动，能为工作环境提供较好的条件，减少对工作场所的噪音污染和振动干扰。
智能控制：具有实时参数显示功能，可通过触摸屏或远程接口（Modbus / 以太网）输出真空度、温度、功耗等数据。还配备自诊断系统，通过振动、温度传感器对异常情况（如过载或异物进入）进行预警，并自动停机保护，方便操作人员实时监控设备运行状态，及时发现和处理问题。
主要型号及参数
常见型号：包括 MU100PE/HE、MU300PE/HE、MU600PE/HE、MU1200XE、MU1800E、MU3000 等。
电源电压：通常为三相 AC200 - 220V，50/60Hz。
外形尺寸：以 MU100PE/HE 为例，外形尺寸为 630×350×360mm；MU300PE/HE 的外形尺寸为 630×350×520mm。
日本樫山kashiyama 真空泵 MU系列 电/微 详询 赵13062644508
日本樫山kashiyama 真空泵 MU系列 电/微 详询 赵13062644508
无油洁净：采用无油运转设计，通过精密啮合转子实现气体压缩，全程无润滑油，避免油蒸气污染，可确保工艺腔体洁净无残留，适合敏感工艺如晶圆加工。
抽气性能优越：抽速范围广，从较小抽速到较大抽速的型号都有，如 MU1200XE *大抽速可达 20,000L/min。极限压力低，可达 0.1Pa 甚至更低。能快速有效地抽取气体，满足不同应用场景的真空需求，可在短时间内将真空腔室抽到所需的真空度。
节能环保：配备低功耗电机，运行能效比优于同类产品，降低了能耗与运行成本。同时采用变频驱动（VFD）调节转速，可根据实际需求调整抽气速度，进一步节能，能耗较油封泵可降低 30%-50%。
结构紧凑：尺寸相对较小，如 MU1200XE 尺寸为 625×275×580mm，重量约 165kg，占地面积小，便于安装在空间有限的设备中，适合设备集成和改造项目，可灵活安装在各种生产线上，不占用过多空间。
维护便捷：采用模块化结构，检修流程简单，无需复杂的拆卸和组装过程，可降低维护成本和停机时间。维护人员可快速定位和更换故障模块，减少设备停机维修时间，提高设备利用率。
运行稳定：摩擦部件少，可承受连续运转，不易出现故障。且噪音低、振动小，连续排气无脉动，能为工作环境提供较好的条件，减少对工作场所的噪音污染和振动干扰。
智能控制：具有实时参数显示功能，可通过触摸屏或远程接口（Modbus / 以太网）输出真空度、温度、功耗等数据。还配备自诊断系统，通过振动、温度传感器对异常情况（如过载或异物进入）进行预警，并自动停机保护，方便操作人员实时监控设备运行状态，及时发现和处理问题。
主要型号及参数
常见型号：包括 MU100PE/HE、MU300PE/HE、MU600PE/HE、MU1200XE、MU1800E、MU3000 等。
电源电压：通常为三相 AC200 - 220V，50/60Hz。
外形尺寸：以 MU100PE/HE 为例，外形尺寸为 630×350×360mm；MU300PE/HE 的外形尺寸为 630×350×520mm。
