容器组件
真空泵
- 产品名称： 真空泵
- 产品型号： MU-PE/HE系列
- 产品厂商：日本樫山kashiyama
- 产品文档：
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简单介绍
真空泵
的详细介绍日本樫山kashiyama 真空泵 MU-PE/HE系列 电/微 详询 赵13062644508
日本樫山kashiyama 真空泵 MU-PE/HE系列 电/微 详询 赵13062644508
日本樫山kashiyama 真空泵 MU-PE/HE系列 电/微 详询 赵13062644508
主要规格和参数：
抽气速率：提供多种型号以满足不同需求，如 MU100PE/HE *大抽速为 1660L/min，MU300PE/HE 为 5000L/min，MU600PE/HE 可达 10,000L/min。
极限压力：性能较好，如 MU300PE/HE 和 MU600PE/HE 的极限压力可达 0.5Pa，MU100PE/HE 的极限压力为 3.0Pa。
电源：采用三相 AC200 - 220V（50/60Hz）电源。
功率：不同型号功率有所不同，MU100PE/HE 功率为 0.6kW，MU300PE/HE 为 0.8kW，MU600PE/HE 为 0.85kW。
外形尺寸与重量：MU100PE/HE 外形尺寸为 630×350×360mm，重量 70kg；MU300PE/HE 外形尺寸为 630×350×520mm，重量 110kg；MU600PE/HE 重量为 130kg。
产品优势：
高效节能：配备低功耗电机，运行能效比高，相比传统真空泵节能效果显著。并且采用变频驱动（VFD）技术，可依据实际需求灵活调整抽气速度，避免不必要的能耗。
洁净无油：运用无油运转设计，通过精密啮合的转子实现气体的压缩和传输，整个过程无需润滑油，从根源上杜绝了油蒸气对工艺腔体的污染，能满足对环境洁净度要求极高的工艺，如半导体制造中的光刻、蚀刻等环节。
维护简便：采用模块化结构设计，内部构造简洁，检修流程简单易行。维护人员能够快速定位故障模块并进行更换，无需复杂的拆卸和组装过程，有效降低了维护成本和设备停机时间。
运行稳定：该系列真空泵的摩擦部件少，具备良好的耐用性，可承受长时间连续运转，在长期使用过程中不易出现故障。同时，运行时噪音低、振动小，能够为工作环境提供安静、稳定的条件，减少对周边设备和人员的影响。
