容器组件
真空泵
- 产品名称：真空泵
- 产品型号：MU-XE系列
- 产品厂商：日本樫山kashiyama
- 产品文档：
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简单介绍
真空泵
的详细介绍
日本樫山kashiyama 真空泵 MU-XE系列 电/微 详询 赵13062644508
产品特点
无油洁净：采用无油运转设计，通过精密啮合的转子实现气体压缩，全程无需润滑油，避免了油蒸气对工艺腔体的污染，特别适合对洁净度要求极高的工艺，如半导体制造、液晶显示器生产、LED 制造和光伏产业等。
抽气性能优越：不同型号的抽速范围广，如 MU100XE 抽速为 1660L/min，MU1200XE *大抽速可达 20,000L/min，能快速抽取气体，满足不同负载的真空需求，缩短抽气时间，提高生产效率。极限压力低，例如 MU100XE 极限压力为 1.5Pa，MU1200XE 极限压力为 0.5Pa，可获得高真空度，满足对真空环境要求苛刻的工艺。
节能环保：配备低功耗电机，运行能效比优于同类产品，降低了能耗与运行成本。同时采用变频驱动（VFD）调节转速，可根据实际需求调整抽气速度，进一步节能，能耗较油封泵可降低 30%-50%。
结构紧凑：尺寸小巧，如 MU100XE 尺寸为 450×230×275mm，重量约 60kg；MU1200XE 尺寸为 625×275×580mm，重量约 165kg，占地面积小，便于安装在空间有限的设备中，适合设备集成和改造项目。
维护便捷：采用模块化结构，检修流程简单，无需复杂的拆卸和组装过程。部件寿命长，维护周期长，可降低维护成本和停机时间。维护人员可快速定位和更换故障模块，减少设备停机维修时间，提高设备利用率。
运行稳定：摩擦部件少，可承受连续运转，不易出现故障。且噪音低、振动小，连续排气无脉动，能为工作环境提供较好的条件，减少对工作场所的噪音污染和振动干扰。
智能控制：具有实时参数显示功能，可通过触摸屏或远程接口（Modbus / 以太网）输出真空度、温度、功耗等数据。还配备自诊断系统，通过振动、温度传感器对异常情况（如过载或异物进入）进行预警，并自动停机保护，方便操作人员实时监控设备运行状态，及时发现和处理问题。
主要型号及参数
电源：三相 AC200 - 220V，50/60Hz。
外形尺寸：MU180X 系列尺寸为 550×280×299mm；MU300XE 尺寸为 450×230×520mm；MU600XE 尺寸为 530×230×520mm。
日本樫山kashiyama 真空泵 MU-XE系列 电/微 详询 赵13062644508
日本樫山kashiyama 真空泵 MU-XE系列 电/微 详询 赵13062644508
产品特点
无油洁净：采用无油运转设计，通过精密啮合的转子实现气体压缩，全程无需润滑油，避免了油蒸气对工艺腔体的污染，特别适合对洁净度要求极高的工艺，如半导体制造、液晶显示器生产、LED 制造和光伏产业等。
抽气性能优越：不同型号的抽速范围广，如 MU100XE 抽速为 1660L/min，MU1200XE *大抽速可达 20,000L/min，能快速抽取气体，满足不同负载的真空需求，缩短抽气时间，提高生产效率。极限压力低，例如 MU100XE 极限压力为 1.5Pa，MU1200XE 极限压力为 0.5Pa，可获得高真空度，满足对真空环境要求苛刻的工艺。
节能环保：配备低功耗电机，运行能效比优于同类产品，降低了能耗与运行成本。同时采用变频驱动（VFD）调节转速，可根据实际需求调整抽气速度，进一步节能，能耗较油封泵可降低 30%-50%。
结构紧凑：尺寸小巧，如 MU100XE 尺寸为 450×230×275mm，重量约 60kg；MU1200XE 尺寸为 625×275×580mm，重量约 165kg，占地面积小，便于安装在空间有限的设备中，适合设备集成和改造项目。
维护便捷：采用模块化结构，检修流程简单，无需复杂的拆卸和组装过程。部件寿命长，维护周期长，可降低维护成本和停机时间。维护人员可快速定位和更换故障模块，减少设备停机维修时间，提高设备利用率。
运行稳定：摩擦部件少，可承受连续运转，不易出现故障。且噪音低、振动小，连续排气无脉动，能为工作环境提供较好的条件，减少对工作场所的噪音污染和振动干扰。
智能控制：具有实时参数显示功能，可通过触摸屏或远程接口（Modbus / 以太网）输出真空度、温度、功耗等数据。还配备自诊断系统，通过振动、温度传感器对异常情况（如过载或异物进入）进行预警，并自动停机保护，方便操作人员实时监控设备运行状态，及时发现和处理问题。
主要型号及参数
电源：三相 AC200 - 220V，50/60Hz。
外形尺寸：MU180X 系列尺寸为 550×280×299mm；MU300XE 尺寸为 450×230×520mm；MU600XE 尺寸为 530×230×520mm。
