容器组件

半导体行业压力表

  • 产品名称： 半导体行业压力表
  • 产品型号：GW35/GW45
  • 产品厂商：NKS 长野计器
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简单介绍

半导体行业压力表

的详细介绍
NKS 长野计器    半导体行业压力表  GW35/GW45   电/微   详询    赵13062644508

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用于半导体气体整合过程

即使在高纯度半导体气体和腐蚀性气气大气中，它也表现出**的性能。
该压力表的制造具有充分的气密性和清洁特性，适用于半导体过程，尤其是高纯度流体。
认证标准： ico_rohs
特征
- 布尔登管，连接零件，箱子和内部机器等米头零件由不锈钢制成，
使其不仅可以耐腐蚀，不仅可以测量物体，而且还可用于大气。 - 在严格的质量控制下 　进**体接触部件的焊接

，包括氩电弧焊接和压力抗性和密封检查　。 *选择压力表时， 　选择压力范围，以使正常压力的上限在以下范围内，以确保**性能。 　　对于恒压：3/4压力范围的*大值 　　：2/3压力范围的*大值 　，并确保列出的气体接触材料与测得的流体兼容。




特点

  • 材质优良：波登管、连接件、外壳和内部单元等主要部件均采用不锈钢制成，具有良好的耐腐蚀性，不仅能抵抗被测主体的腐蚀，对大气环境也有出色的耐受性，可适应半导体制造过程中的各种化学物质和气体环境2。
  • 焊接工艺先进：气体接触部件的焊接采用氩弧焊，确保焊接质量，在耐压性和气密性方面表现出色，能够满足半导体工艺对压力表的高要求，防止气体泄漏影响测量精度或造成**隐患2。
  • 高清洁度与气密性：在制造过程中充分考虑了气密性和清洁度，适用于半导体工艺中的高纯度流体测量，避免杂质或气体泄漏对半导体生产造成污染或干扰2。

工作原理

基于波登管的弹性变形原理。当被测压力作用于波登管时，波登管会产生相应的变形，这种变形通过连接机构传递给压力表的指针或其他测量元件，将压力变化转化为可读取的数值，从而实现对压力的测量。

应用领域

主要用于半导体气体集成工艺，在高纯度半导体气体和腐蚀性气体气氛等条件下能稳定工作并表现出优异的性能，可**测量半导体制造过程中各种气体管道、反应腔室等部位的压力，为半导体工艺的**控制提供关键数据支持2。

选型要点

  • 测量范围：根据实际测量需求选择合适的压力范围。一般在恒定压力下，*大工作压力不超过所选压力表满量程的 3/4；在压力波动情况下，*大工作压力不超过满量程的 2/32。
  • 精度等级：根据半导体工艺对压力测量精度的具体要求，选择相应精度等级的产品。
  • 接口类型：确保所选压力表的接口尺寸和连接形式与实际使用的管道、设备相匹配，以便顺利安装和连接。


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