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干涉式同轴 3D 位移测量仪

  • 产品名称:干涉式同轴 3D 位移测量仪
  • 产品型号:WI-5000 系列
  • 产品厂商:KEYENCE基恩士
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简单介绍

干涉式同轴 3D 位移测量仪

的详细介绍
KEYENCE基恩士   干涉式同轴 3D 位移测量仪  WI-5000 系列 电/微   详询   赵13062644508

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采用白光干涉原理,可实现高速、高精度的3D测量。支持从高度差/体积测量等的测量到宽度/面积等各种测量。

产品特性

并非以点线测量,而是以“面”进行测量
针对*大 10 × 10 mm 的测量区域,可瞬间获取 8 万个点的高度。 由于采用白光干涉原理,不受材质/颜色、死角的影响,实现了微米级的高精度测量。


在线实现高速全数检测
测量多点时,需要高精度且高速扫描目标物。 因此,会将时间浪费在移动载物台上,不易进行全数检测。 由于 WI-5000 系列是以面进行同时测量,因此可大幅缩短测量时间,实现全数检测。

大幅削减离线检测工时
为了用于离线检测,备有可固定传感器头的专用底座。 配备可削减检测工时的各种实用功能。 改善从简易测量到保存数据等各种情况的可操作性。
  1. 工作原理:采用白光干涉原理,同轴设计,实现高精度 3D 测量。
  2. 主要特点
    • 高速测量:0.13 秒内获取 8 万点数据。
    • 高精度:微米级精度,不受材质、颜色影响。
    • 面测量:无需移动载物台,适合在线全检。
    • 离线检测:配备底座,减少工时。
  3. 技术参数
    • 测量区域:*大 10×10mm。
    • 分辨率:高度、粗糙度等参数的*小显示单位为 0.1μm。
    • 输出接口:多种数字和模拟接口,支持 Ethernet、USB 等。
  4. 型号及应用
    • 控制器型号 WI-5000,支持 1 个测量头。
    • 应用案例包括晶圆检测、BGA 端子高度测量。
  5. 环境适应性
    • 温度范围 0-45°C(DIN 导轨安装)。
    • 防护等级未明确,但提到耐环境光照等。
  6. 电气特性
    • 电源 24VDC,电流消耗 2.7A。
    • 输出类型包括光 MOSFET、RS-232C、Ethernet 等。




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