容器组件
分光干涉式晶片厚度计
- 产品名称:分光干涉式晶片厚度计
- 产品型号:SI-F80R 系列
- 产品厂商:KEYENCE基恩士
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简单介绍
分光干涉式晶片厚度计
的详细介绍
KEYENCE基恩士 分光干涉式晶片厚度计 SI-F80R 系列 电/微 详询 赵13062644508
产品特性
即使已贴附背面研磨带也可测量晶片厚度
大幅降低图案的影响
可在生产线上进行测量
自动映射整个晶片的厚度分布

KEYENCE基恩士 分光干涉式晶片厚度计 SI-F80R 系列 电/微 详询 赵13062644508
KEYENCE基恩士 分光干涉式晶片厚度计 SI-F80R 系列 电/微 详询 赵13062644508
采用近红外 SLD,即使已贴附 BG 带也可测量晶片本身的厚度。即使晶片表面存在由于图案而产生的显著差异,也可实现准确的生产线上测量。
产品特性
即使已贴附背面研磨带也可测量晶片厚度
大幅降低图案的影响
可在生产线上进行测量
自动映射整个晶片的厚度分布
