容器组件

分光干涉式晶片厚度计

  • 产品名称:分光干涉式晶片厚度计
  • 产品型号:SI-F80R 系列
  • 产品厂商:KEYENCE基恩士
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简单介绍

分光干涉式晶片厚度计

的详细介绍
KEYENCE基恩士  分光干涉式晶片厚度计  SI-F80R 系列     电/微   详询   赵13062644508

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采用近红外 SLD,即使已贴附 BG 带也可测量晶片本身的厚度。即使晶片表面存在由于图案而产生的显著差异,也可实现准确的生产线上测量。

产品特性
即使已贴附背面研磨带也可测量晶片厚度
大幅降低图案的影响
可在生产线上进行测量
自动映射整个晶片的厚度分布

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