nikkato日陶 半导体制造的各种热电偶

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‌ NIKKATO日陶 在半导体制造中使用的热电偶主要包括以下几种类型‌：

1. ‌ SPRIKE T/C （控温热电偶）‌：主要用于控制炉体温度。SPRIKE T/C通常是单点型，每个点的位置需要与PROFILE T/C的温度点相互平行对应，以确保炉温的稳定和正确‌

2. ‌ PROFILE T/C （校准热电偶）‌：分为 LP PROFILE T/C 和 AP PROFILE T/C ，用于测量温度而非控制温度。PROFILE T/C用于测量炉子每一设定点的实际温度，确保与设定值相同。其保护管有高纯度透明石英管、SIC管（有Cu涂层及无涂层）和蓝宝石管等，适用于高温工艺‌

3. ‌ FLAT ZONE T/C （校正热电偶）‌：当产品厚度异常时使用，用于测量炉体温度分布。FLAT ZONE T/C是单点式测量，从底部缓慢向出口端移动并记录温度，分为自动（约24小时）和手动（约两小时）‌

这些热电偶在半导体制造中起着至关重要的作用，确保温度控制的准确性和稳定性，从而影响产品的质量和生产效率。