容器组件
电空减压阀
- 产品名称： 电空减压阀
- 产品型号：EVS2
- 产品厂商：CKD 喜开理
- 产品文档：
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简单介绍
电空减压阀
的详细介绍
CKD 喜开理 电空减压阀 EVS2 电/微 详询 赵 13062644508
本品是30mm宽的小型、轻量、高性能电空减压阀。*适合半导体、精密贴装领域的先导减压阀的控制、各种按压控制、微速气缸控制。
行业
半导体制造工序（后工序）
【提高性能，追加产品种类】
①分辨率提高 0.1%F.S.以下 → 0.05%F.S.以下
②追加压力种类 -100kPa（负压）、200kPa（中压）、900kPa（高压）
【小型】
30×39×57.1（宽×高×长）。
小型、轻量，有助于装置的小型化。
【高精度】
通过电气信号，高精度、高速响应地控制流体压力。
重复性：0.3%F.S.
分辨率：0.1%F.S.
响应时间：0.1sec（无负荷）
【动作状态采用双色进行显示】
采用双色显示动作指示器，设定压力时，显示为绿色，设定以外与错误时，显示为红色。
【配管、配线作业简单】
CKD 喜开理 电空减压阀 EVS2 电/微 详询 赵 13062644508
CKD 喜开理 电空减压阀 EVS2 电/微 详询 赵 13062644508
【NEW】追加种类
本品是30mm宽的小型、轻量、高性能电空减压阀。*适合半导体、精密贴装领域的先导减压阀的控制、各种按压控制、微速气缸控制。
行业
半导体制造工序（后工序）
【提高性能，追加产品种类】
①分辨率提高 0.1%F.S.以下 → 0.05%F.S.以下
②追加压力种类 -100kPa（负压）、200kPa（中压）、900kPa（高压）
【小型】
30×39×57.1（宽×高×长）。
小型、轻量，有助于装置的小型化。
【高精度】
通过电气信号，高精度、高速响应地控制流体压力。
重复性：0.3%F.S.
分辨率：0.1%F.S.
响应时间：0.1sec（无负荷）
【动作状态采用双色进行显示】
采用双色显示动作指示器，设定压力时，显示为绿色，设定以外与错误时，显示为红色。
【配管、配线作业简单】
空气配管：采用快插接头，电气配线：采用M12接头，配管、配线作业简单。
