容器组件
硅氧烷・臭氧去除器
- 产品名称： 硅氧烷・臭氧去除器
- 产品型号：SFX
- 产品厂商：CKD 喜开理
- 产品文档：
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简单介绍
硅氧烷・臭氧去除器
的详细介绍
CKD 喜开理 硅氧烷・臭氧去除器 SFX 电/微 详询 赵13062644508
可在加压状态下使用压缩空气、氮气并且达到99%高去除率。
行业
半导体制造工序（后工序）
安装
【去除2种污染物质】
采用活性炭滤芯，去除环氧烷或臭氧。
【可高压对应】
可在加压状态下使用压缩空气和氮气。
【高去除率】
99%以上的硅氧烷吸附性能、臭氧分解性能。
【省空间】
CKD 喜开理 硅氧烷・臭氧去除器 SFX 电/微 详询 赵13062644508
CKD 喜开理 硅氧烷・臭氧去除器 SFX 电/微 详询 赵13062644508
专用于硅氧的吸附及臭氧分解的可移动设备。
可在加压状态下使用压缩空气、氮气并且达到99%高去除率。
行业
半导体制造工序（后工序）
安装
【去除2种污染物质】
采用活性炭滤芯，去除环氧烷或臭氧。
【可高压对应】
可在加压状态下使用压缩空气和氮气。
【高去除率】
99%以上的硅氧烷吸附性能、臭氧分解性能。
【省空间】
可连接本公司的调质元件及模块，实现省配线。
