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Kashiyama樫山工业核心真空设备详解：LEH/LEM系列与NeoDry系列真空泵
日期：2025-12-20 11:09
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摘要：Kashiyama樫山工业核心真空设备详解：LEH/LEM系列与NeoDry系列真空泵
Kashiyama樫山工业核心真空设备详解：LEH/LEM系列与NeoDry系列真空泵
成立于1946年的Kashiyama樫山工业株式会社，总部位于日本长野县佐久市，是全球真空技术领域的知名企业。七十余年来，公司深耕真空设备研发制造，凭借严苛的品质管控与持续的技术，通过ISO9001、ISO14001等多项国际认证，其产品在半导体、化工、制药等行业积累了良好口碑。其中LEH/LEM系列水封式真空泵与NeoDry系列干式真空泵，以差异化性能适配多元工况，成为市场主流之选。目前，这两大系列核心产品已由纳加霍里科技（上海）有限公司正式引入中国市场，为国内企业提供采购渠道与一体化技术支持。
LEH/LEM系列水封式真空泵是樫山工业针对含湿气体处理场景的经典产品，采用圆形壳体与偏心叶轮结构，通过水膜形成密闭空间实现吸气、压缩与排气的连续作业，具备适配性广、运行稳定的特点。该系列分为LEH型与LEM型两大品类：LEH型为两段式高真空设计，适合对真空度要求较高的场景，常用型号包括LEH100MS，可高效处理含水蒸气、水滴的气体，亦能适配引火性、腐蚀性气体排气需求；LEM型为电机直连式结构，主打紧凑轻量化，安装便捷且占用空间小，适合中小型工况的气体处理。系列产品均采用机械密封轴封设计，摩擦部件少，支持长期连续运转，且具备低噪音、低振动、排气无脉动的优势，日常维护仅需关注封水循环状态，大幅降低运维成本。
基于优异的湿气体处理能力，LEH/LEM系列广泛应用于多个行业。在化工领域，可用于反应釜尾气处理、溶剂回收等环节，适配腐蚀性气体的排放；制药行业中，其低污染特性可满足药品干燥、蒸馏工艺的真空需求；食品加工领域则适用于果蔬脱水、真空冷冻干燥等场景，保障产品品质；此外，在环保水处理、电子元件清洗等行业的含湿气体处理中，该系列产品也发挥着重要作用。其内置定流量阀采用适量给水方式，可根据工况自动调节用水量，契合绿色生产理念。
NeoDry系列干式真空泵是樫山工业面向精密制造领域的核心产品，凭借无油无水、高效节能的特性，成为半导体、液晶显示等高科技行业的常用设备。该系列涵盖多个细分型号，其中NeoDry7E、15E、30E为小型轻量款，排气速度分别为110L/min、250L/min、500L/min，到达压力低可达0.3Pa，噪音值控制在56-60dB(A)之间，相比旧系列实现12%-14%的轻量化提升；NeoDry36E、60E、300E为中大型款，排气速度高可达5000L/min，适配大排量工况需求。全系列采用完全气密结构，搭载标准气体平衡机构，部分型号支持N2导入选项，水蒸気处理量高可达600g/h，能有效应对凝缩性气体排气场景。
在应用场景上，NeoDry系列凭借无粉尘、无气体污染的优势，成为半导体制造中晶圆加工、封装测试环节的理想选择，目前已获得多家行业巨头的认可；液晶显示与太阳能电池制造领域，其高真空度与稳定运行性能可保障镀膜、刻蚀等工艺的精度；在电子元件、精密仪器制造中，小型款NeoDry7E、15E因紧凑结构可嵌入设备内部，实现局部真空环境控制。此外，该系列产品通过优化电机设计，相比旧系列实现20%的能耗降低，契合各行业的节能降碳需求，在化工、新材料研发等领域也拥有广泛应用前景。
作为专注于进口工业设备代理的专业企业，纳加霍里科技（上海）有限公司目前已实现Kashiyama樫山工业LEH/LEM系列、NeoDry系列真空泵的正式在售。针对国内客户需求，纳加霍里科技提供全系列保障，覆盖从小型精密设备到中大型工业级产品的完整选型范围，同时配套提供技术咨询、安装调试、售后维护等一体化服务，有效解决进口设备采购的渠道壁垒与技术支持难题。无论是化工企业采购含湿气体处理设备，还是半导体厂商寻求高精密干式真空泵，均可通过该渠道获得精准适配的解决方案。
