容器组件
IWAKI 易威奇FF-20HT 化学溶液补给泵
- 产品名称：IWAKI 易威奇FF-20HT 化学溶液补给泵
- 产品型号：FF-20HT型
- 产品厂商：IWAKI 易威奇
- 产品文档：
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简单介绍
IWAKI 易威奇FF-20HT 化学溶液补给泵
IWAKI 易威奇FF-20HT 化学溶液补给泵
化学溶液补给泵| CFD 每次注射1 mL，点胶性能大幅提升 通过将排出量设定为每次注射1mL，与常规分配性能相比，分配性能显着提高。 通过在必要时注入必要的*小量，可以高精度地执行晶片清洁溶液的浓度控制。 此外，可以抑制浓度的过冲，这导致洗涤溶液的成本降低。 另外，内置虹吸防止机构以防止化学液体流出。
IWAKI 易威奇FF-20HT 化学溶液补给泵
的详细介绍IWAKI 易威奇FF-20HT 化学溶液补给泵
IWAKI 易威奇FF-20HT 化学溶液补给泵
IWAKI 易威奇FF-20HT 化学溶液补给泵
IWAKI 易威奇FF-20HT 化学溶液补给泵
IWAKI 易威奇FF-20HT 化学溶液补给泵
产品特点
提高点胶性能：通过将排出量设定为每次注射1mL，与常规分配性能相比，分配性能显着提高。 通过在必要时注入必要的*小量，可以高精度地执行晶片清洁溶液的浓度控制。 此外，可以抑制浓度的过冲，这导致洗涤溶液的成本降低。 另外，内置虹吸防止机构以防止化学液体流出。
耐腐蚀结构仪表：润湿部分由全氟聚合物（PTFE，PFA，PCTFE）制成，并且它可以对应于用于半导体应用的化学品，例如酸，碱和过氧化氢。 此外，泵的外部采用树脂（PTFE，PFA，PP，PVC）和PTFE涂层螺钉，具有高耐腐蚀结构。它对应于宽放电设置：通过拆下泵底部的盖子可以很容易地调整行程长度。 每次注射*多可放电2.7 mL。 （出货时，1毫升/次）
泄漏传感器标准设备：泄漏传感器即使在破碎的波纹管作为标准配置时也能快速响应。
产品规格
| 一般规格 | |
| 用途 | 薬液補充用途 |
| 排出量 | 1mL/shot |
| *大排放压力 | 0.05MPa |
| 处理液体温度范围 | 20～60℃ |
| *大冲程数 | 30spm |
| 供气压力 | 0.15～0.3MPa |
| *大耗气量 | 2.5NL/min |
| 接液部件材料 | PTFE、PFA、PCTFE |
| 泵连接端口直径 | 1/4”PFAチューブ（φ6.35×4.35） |
| 供气连接口直径 | Rc1/8 |
| 重量 | 1.1kg |
| 光传感器规格 | |
| 形式 | 透射式微光电传感器 |
| 电源电压 | 5～24V DC±10％ |
| 输出格式 | NPN晶体管·集电极开路 |
| 允许电流 | 50mA以下 |
| 代码 |
PVC 4芯电缆外径φ5.2mm电缆长度5 m带圆形端子（0.5 - 4） |