容器组件
真空泵
- 产品名称：真空泵
- 产品型号：SD系列
- 产品厂商：日本樫山kashiyama
- 产品文档：
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简单介绍
真空泵
的详细介绍
日本樫山kashiyama 真空泵 SD系列 电/微 详询 赵13062644508
日本樫山kashiyama 真空泵 SD系列 电/微 详询 赵13062644508
常见型号：包括 SDX600、SDT600、SDX1200、SDT1200、SDX1800、SDT1800、SDH3000、SDH6000 等。
电源电压：三相 AC200-220V，50/60Hz。
抽气速率：不同型号抽气速率不同，如 SDX600 型为 10,000L/min，SDT600 系列为 18,000L/min，SDH6000 可达 60,000L/min。
功耗：范围从 1.5kW 到 3.7kW 不等，例如 SDX600 功耗为 1.5kW，SDH6000 功率为 3.7kW。
外形尺寸：以 SDH6000 为例，长度为 1050mm、宽度为 515mm，高度为 950mm。
产品特点
节能性好：SDX 系列属于节能型产品，通过新型加热器系统与机械结构优化，实现低功耗化，在降低能源消耗的同时，也有助于降低使用成本。
工艺耐性强：SDT/SDH 系列具有 Super Hirsch 对应和工艺耐性的特点，能够适应各种复杂工艺环境，可在高颗粒负载、强化学腐蚀性、高工艺气体流量等恶劣条件下稳定运行。
无油干式设计：采用无润滑油机械结构，可避免介质污染，能保持泵腔内部清洁，防止油蒸汽对被抽气体的污染，适用于超洁净工艺环境，如半导体晶圆制造、液晶显示制造等对真空环境要求极高的领域。
吹扫功能灵活：部分型号支持氮气吹扫功能，氮气流量可在一定范围内调节，如 SDH6000 的氮气流量可在 0 至 80SLM 范围内调节，这有助于增强工艺灵活性，可用于**泵内残留气体、防止气体反扩散等，提高真空泵的性能和稳定性。
抽气能力强劲：该系列真空泵抽气速度快，极限压力低，如 SDH6000 *大抽速可达 60,000L/min，极限压力为 0.5Pa，能快速有效地抽取气体，满足不同应用场景的真空需求，可在短时间内将真空腔室抽到所需的真空度。
冷却需求较低：冷却水流量需求较低，例如 SDH6000 的冷却水流量仅需 4.0L/min，对冷却系统要求不高，可降低运行成本和设备复杂度，减少了因冷却系统故障而导致的设备停机风险。
**可靠稳定：符合工业**标准，配备高**性防护设计，如过载保护、过热保护、漏电保护等功能，能在各种工况下稳定运行，保障设备和操作人员的**。
产品兼容性佳：支持与同系列设备协同工作，可扩展应用场景，通过多台真空泵的组合使用，可以满足更大抽气速率和更高真空度的要求，例如 SDH6000 可与 SDT600 或 SDX1200 等搭配使用。
日本樫山kashiyama 真空泵 SD系列 电/微 详询 赵13062644508
日本樫山kashiyama 真空泵 SD系列 电/微 详询 赵13062644508
常见型号：包括 SDX600、SDT600、SDX1200、SDT1200、SDX1800、SDT1800、SDH3000、SDH6000 等。
电源电压：三相 AC200-220V，50/60Hz。
抽气速率：不同型号抽气速率不同，如 SDX600 型为 10,000L/min，SDT600 系列为 18,000L/min，SDH6000 可达 60,000L/min。
功耗：范围从 1.5kW 到 3.7kW 不等，例如 SDX600 功耗为 1.5kW，SDH6000 功率为 3.7kW。
外形尺寸：以 SDH6000 为例，长度为 1050mm、宽度为 515mm，高度为 950mm。
产品特点
节能性好：SDX 系列属于节能型产品，通过新型加热器系统与机械结构优化，实现低功耗化，在降低能源消耗的同时，也有助于降低使用成本。
工艺耐性强：SDT/SDH 系列具有 Super Hirsch 对应和工艺耐性的特点，能够适应各种复杂工艺环境，可在高颗粒负载、强化学腐蚀性、高工艺气体流量等恶劣条件下稳定运行。
无油干式设计：采用无润滑油机械结构，可避免介质污染，能保持泵腔内部清洁，防止油蒸汽对被抽气体的污染，适用于超洁净工艺环境，如半导体晶圆制造、液晶显示制造等对真空环境要求极高的领域。
吹扫功能灵活：部分型号支持氮气吹扫功能，氮气流量可在一定范围内调节，如 SDH6000 的氮气流量可在 0 至 80SLM 范围内调节，这有助于增强工艺灵活性，可用于**泵内残留气体、防止气体反扩散等，提高真空泵的性能和稳定性。
抽气能力强劲：该系列真空泵抽气速度快，极限压力低，如 SDH6000 *大抽速可达 60,000L/min，极限压力为 0.5Pa，能快速有效地抽取气体，满足不同应用场景的真空需求，可在短时间内将真空腔室抽到所需的真空度。
冷却需求较低：冷却水流量需求较低，例如 SDH6000 的冷却水流量仅需 4.0L/min，对冷却系统要求不高，可降低运行成本和设备复杂度，减少了因冷却系统故障而导致的设备停机风险。
**可靠稳定：符合工业**标准，配备高**性防护设计，如过载保护、过热保护、漏电保护等功能，能在各种工况下稳定运行，保障设备和操作人员的**。
产品兼容性佳：支持与同系列设备协同工作，可扩展应用场景，通过多台真空泵的组合使用，可以满足更大抽气速率和更高真空度的要求，例如 SDH6000 可与 SDT600 或 SDX1200 等搭配使用。
