容器组件
真空泵
- 产品名称： 真空泵
- 产品型号：SDL系列
- 产品厂商：日本樫山kashiyama
- 产品文档：
你添加了1件商品 查看购物车
简单介绍
真空泵
的详细介绍
日本樫山kashiyama 真空泵 SDL系列 电/微 详询 赵13062644508
产品特点
无油洁净：采用无润滑油机械结构，通过精密啮合转子实现气体压缩，全程无油，可避免油蒸气对工艺腔体的污染，适用于如半导体晶圆制造、LED 封装等对洁净度要求极高的工艺。
耐腐蚀性强：转子与腔体采用不锈钢镀层或陶瓷涂层，能耐受酸性气体（如 HCl、Cl?）和颗粒物，可用于处理腐蚀性气体的场景。
抽气性能优越：抽速范围广，为 10 - 1,500m3/h，极限真空可达 0.1Pa（0.001mbar），*大抽速可达 10,000L/min，能够快速有效地抽取气体，满足不同应用场景的真空需求。
高效节能：配备变频驱动（VFD），可调节转速，相比油封泵能耗降低 30% - 50%。部分型号通过新型加热器系统与机械结构优化，实现了低功耗化。
智能控制：具有实时参数显示功能，可通过触摸屏或远程接口（Modbus / 以太网）输出真空度、温度、功耗等数据。还设有自诊断系统，利用振动、温度传感器对异常情况（如过载或异物进入）进行预警，并自动停机保护。
功能灵活：部分型号支持氮气吹扫功能，氮气流量可在 0 至 80SLM 范围内调节，增强了工艺灵活性。此外，产品兼容性好，支持与同系列设备协同工作，可扩展应用场景。
应用领域
半导体制造：适用于晶圆制造过程中的 CVD/PVD 设备抽真空、光刻、蚀刻等关键工艺，可提供高真空度和洁净的真空环境，避免油污染，满足 Class 1000 洁净环境要求。
LED 封装：可用于固晶机、焊线机的无油真空吸附，确保封装过程的洁净度，提高产品质量。
化工领域：可用于处理腐蚀性气体，以及各种化工行业的溶剂回收、脱水、干燥等工艺。
制药行业：例如冻干机中的药品冻干工艺，提供无油真空保障，符合 GMP 要求。
其他领域：适用于实验室的高纯度实验环境控制，以及电子 / 电池、环保、能源等领域中对真空度和洁净度有要求的工艺。
日本樫山kashiyama 真空泵 SDL系列 电/微 详询 赵13062644508
日本樫山kashiyama 真空泵 SDL系列 电/微 详询 赵13062644508
产品特点
无油洁净：采用无润滑油机械结构，通过精密啮合转子实现气体压缩，全程无油，可避免油蒸气对工艺腔体的污染，适用于如半导体晶圆制造、LED 封装等对洁净度要求极高的工艺。
耐腐蚀性强：转子与腔体采用不锈钢镀层或陶瓷涂层，能耐受酸性气体（如 HCl、Cl?）和颗粒物，可用于处理腐蚀性气体的场景。
抽气性能优越：抽速范围广，为 10 - 1,500m3/h，极限真空可达 0.1Pa（0.001mbar），*大抽速可达 10,000L/min，能够快速有效地抽取气体，满足不同应用场景的真空需求。
高效节能：配备变频驱动（VFD），可调节转速，相比油封泵能耗降低 30% - 50%。部分型号通过新型加热器系统与机械结构优化，实现了低功耗化。
智能控制：具有实时参数显示功能，可通过触摸屏或远程接口（Modbus / 以太网）输出真空度、温度、功耗等数据。还设有自诊断系统，利用振动、温度传感器对异常情况（如过载或异物进入）进行预警，并自动停机保护。
功能灵活：部分型号支持氮气吹扫功能，氮气流量可在 0 至 80SLM 范围内调节，增强了工艺灵活性。此外，产品兼容性好，支持与同系列设备协同工作，可扩展应用场景。
应用领域
半导体制造：适用于晶圆制造过程中的 CVD/PVD 设备抽真空、光刻、蚀刻等关键工艺，可提供高真空度和洁净的真空环境，避免油污染，满足 Class 1000 洁净环境要求。
LED 封装：可用于固晶机、焊线机的无油真空吸附，确保封装过程的洁净度，提高产品质量。
化工领域：可用于处理腐蚀性气体，以及各种化工行业的溶剂回收、脱水、干燥等工艺。
制药行业：例如冻干机中的药品冻干工艺，提供无油真空保障，符合 GMP 要求。
其他领域：适用于实验室的高纯度实验环境控制，以及电子 / 电池、环保、能源等领域中对真空度和洁净度有要求的工艺。
