容器组件
光刻胶分配泵
- 产品名称：光刻胶分配泵
- 产品型号：PDS-105R
- 产品厂商：IWAKI易威奇
- 产品文档：
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简单介绍
光刻胶分配泵
的详细介绍
IWAKI易威奇 光刻胶分配泵 PDS-105R 电/微 详询 赵13062644508
分发精度±0.3%（F.S.）
电阻节约
PDS-105R 的功能
显著的电阻节约
由于使用高扭矩步进电机作为驱动源，即使放电负载因滤芯堵塞或粘度变化增加，输出体积几乎不会减少，且保持高输出精度。 因此，应用体积设置极小，且可显著减少光刻胶液体的使用量。
• 配药准确率：±0.3% （F.S.）
• 线性度：±0.5% （F.S.）
• 分辨率：0.01mL
无污染
泵部分采用管状框架结构，内表面光滑且死容低。 几乎没有光刻胶液体的滞留，这阻止了颗粒的形成。
多功能涂层工艺
由于分发速度可以在单次喷涂内任意改变，因此可用于多种光阻涂层工艺，如微量和短时间施用。
减少停机时间
可选的内置压力传感器监测排放压力，以管理更换滤网时的压力。 此外，发药量和发药时间只能通过数值输入控制器来设置。 这对操作员来说无需任何努力，并且减少了停机时间。
原理图规格
*大分配量 5.0毫升/注射
吐口水速度 0.1〜4.0mL/sec
吸力速度 0.1〜3.0mL/sec
*大排放压力 0.15MPa
分配精度 ±0.3%（联邦）
主要材料 PFA、PTFE
*大传递流体粘度 200mPa·s
IWAKI易威奇 光刻胶分配泵 PDS-105R 电/微 详询 赵13062644508
IWAKI易威奇 光刻胶分配泵 PDS-105R 电/微 详询 赵13062644508
分发精度±0.3%（F.S.）
电阻节约
PDS-105R 的功能
显著的电阻节约
由于使用高扭矩步进电机作为驱动源，即使放电负载因滤芯堵塞或粘度变化增加，输出体积几乎不会减少，且保持高输出精度。 因此，应用体积设置极小，且可显著减少光刻胶液体的使用量。
• 配药准确率：±0.3% （F.S.）
• 线性度：±0.5% （F.S.）
• 分辨率：0.01mL
无污染
泵部分采用管状框架结构，内表面光滑且死容低。 几乎没有光刻胶液体的滞留，这阻止了颗粒的形成。
多功能涂层工艺
由于分发速度可以在单次喷涂内任意改变，因此可用于多种光阻涂层工艺，如微量和短时间施用。
减少停机时间
可选的内置压力传感器监测排放压力，以管理更换滤网时的压力。 此外，发药量和发药时间只能通过数值输入控制器来设置。 这对操作员来说无需任何努力，并且减少了停机时间。
原理图规格
*大分配量 5.0毫升/注射
吐口水速度 0.1〜4.0mL/sec
吸力速度 0.1〜3.0mL/sec
*大排放压力 0.15MPa
分配精度 ±0.3%（联邦）
主要材料 PFA、PTFE
*大传递流体粘度 200mPa·s
• 上述规格可能因所处理的流体类型及其他安装条件而异。 请联系我们获取详情。
